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本发明公开了一种沟槽栅功率器件，包括器件单元区和终端区，终端区环绕在器件单元区的周侧，器件单元区中由多个器件单元并联而成；终端区的终端结构包括：终端沟槽，在终端沟槽中填充有终端介质层，终端沟槽依次穿过器件单元的沟道区、载流子存储层和漂移区，...
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