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本发明涉及到半导体生产设备技术领域,提供了一种顶针自动调节装置及顶针自动调节方法，包括位移机构、驱动机构、顶针机构，所述驱动机构、顶针机构均连接于所述位移机构，所述驱动机构驱动所述位移机构产生位移，所述顶针机构随所述位移机构进行位移。依靠电...
该专利属于深圳市微恒自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市微恒自动化设备有限公司授权不得商用。

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