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一种用于硅片脱胶用提篮的升降装置制造方法及图纸
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下载一种用于硅片脱胶用提篮的升降装置的技术资料
文档序号:24735252
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一种用于硅片脱胶用提篮的升降装置,涉及半导体硅棒多线切割后脱胶技术领域,包括小车,小车上垂直设有升降杆,提篮的上方平行设有两个提手,每个提手上分别设置2个用于抓握的“工”字形的把手,所述升降装置还包括可沿升降杆升降的升降块以及固定于升降块上...
该专利属于麦斯克电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过麦斯克电子材料有限公司授权不得商用。
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