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苏州矽航半导体有限公司
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一种TVS器件制造技术
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下载一种TVS器件的技术资料
文档序号:24640588
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本实用新型公开了一种TVS器件,器件由外向内分别设置有未掺杂玻璃层、磷酸玻璃层、铝层、二氧化硅层以及硅衬底;二氧化硅层上设有窗口,窗口的两端开口沿器件的深度方向设置,窗口贯穿二氧化硅层,二氧化硅层上不与硅衬底相接触的外表面上覆盖有氮化硅层,...
该专利属于苏州矽航半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州矽航半导体有限公司授权不得商用。
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