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本实用新型公开了一种新型射频离子源，具体涉及离子源技术领域，包括底座，所述底座顶部开设有第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有两个滑块，所述滑块顶部固定连接有滑杆，所述滑杆外侧壁滑动连接有滑套，所述滑套外壁嵌设有固定座，所述固定座内腔两侧均开设...
该专利属于苏州至臻精密光学有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州至臻精密光学有限公司授权不得商用。

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