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一种固持装置，适用于固持晶圆，并包含承载盘及多个支臂单元。承载盘适用于承载并吸附晶圆，并能以中心轴为轴心旋转。支臂单元连接于承载盘并与承载盘连动。每个支臂单元包括轨道架、传动模块及限位模块。轨道架连接于承载盘周缘并界定出轨道空间。传动模块设...
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