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一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手技术方案
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下载一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手的技术资料
文档序号:24610177
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本发明涉及金属掩膜板清洗技术领域,具体是一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手,包括安装在清洗系统纵向梁上的行走机构,行走机构上装有升降机构,行走机构包括矩形框架,矩形框架的一根横梁上装有减速电机,减速电机的两个输出端各装有一根传动轴,每根传动...
该专利属于湖北浚山光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖北浚山光电有限公司授权不得商用。
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