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本发明涉及一种机台装置、制造设备和制造设备的操作方法。本发明揭示一种机台装置，其包含机台本体、工作区和至少一个工件放置区。所述机台本体具有前部分、后部分和二侧部分，所述后部分是相对所述前部分，所述侧部分延伸于所述前部分和所述后部分之间。所述...
该专利属于日月光半导体制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日月光半导体制造股份有限公司授权不得商用。

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