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本发明提供一种双室三工位多靶共溅磁控溅射镀膜方法，具有第一镀膜室、第二镀膜室、室外装卸工位以及集热管小车，所述第一镀膜室的真空腔体内设有若干根直流磁控溅射靶，所述第二镀膜室设有数根直流磁控溅射靶与数根中频磁控溅射靶；通过在第一镀膜室完成红外...该专利属于北京华业阳光新能源有限公司;北京启迪清洁能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京华业阳光新能源有限公司;北京启迪清洁能源科技有限公司授权不得商用。