下载一种保护性能好的单片盒的技术资料

文档序号:24465674

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本实用新型公开了一种保护性能好的单片盒,包括下盒体、盒盖和弧形弹片;将待包装的晶圆单片放置在支撑圆球上端面,弧形限位板的弧度与所贴近的下盒体弧度相同,弧形限位板顶端与下盒体上端口齐平,弧形限位板将晶圆单片固定堆积为一个圆筒形结构,顶压弹簧由...
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