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本实用新型属于传感器技术领域，尤其一种基于电容式检测原理的MEMS压力传感器，包括硅基底板，所述硅基底板的上表面固定设有衬板，所述衬板的上表面安装有传感器芯片，所述传感器芯片的两端固定连接有固定板，所述固定板的上表面安装有第一螺栓，所述固定...
该专利属于上海路溱微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海路溱微电子技术有限公司授权不得商用。

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