下载一种高真空样品储存装置的技术资料

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本发明公开了一种高真空样品储存装置,属于扫描电镜、透射电镜、半导体真空配件技术领域。它包括主室,所述主室一侧连通有真空规,所述主室的顶部连通有对接室。连通机构的设计能够保证各个样品仓之间的相互独立,真空环境互不干扰,极大程度上提高了样品的纯...
该专利属于上海微纳国际贸易有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微纳国际贸易有限公司授权不得商用。

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