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本实用新型公开了一种晶圆研磨机用进料装置，包括旋转台、进料托盘托架、进料托盘、红外线接收器、单片机和电动推杆，所述进料托盘的顶部开设有晶圆放置槽，所述晶圆放置槽的中心位置开设有气槽，所述进料托盘的底部表面中间位置设置有与气槽相连通的电动推杆...
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