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本发明提供一种不会从未卷绕有长条基板的筒辊(56)的非缠膜部区域泄漏冷却用气体的筒辊以及使用该筒辊的长条基板处理装置。本发明是一种带有气体释放机构的筒辊，通过由具有滑动面的旋转环单元(21)与固定环单元(22)构成的旋转接头(20)来有选择...
该专利属于住友金属矿山株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友金属矿山株式会社授权不得商用。

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