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本实用新型涉及一种MPCVD装置及其托盘。MPCVD装置包括冷却台，冷却台上放置托盘，托盘的下侧面上于托盘中心处设有向下凸出布置的中心导热凸起，以及至少一个环形的外侧导热凸起，外侧导热凸起间隔设置于中心导热凸起外侧，中心导热凸起和外侧导热凸...
该专利属于郑州磨料磨具磨削研究所有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过郑州磨料磨具磨削研究所有限公司授权不得商用。

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