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本实用新型公开了一种真空腔室运动部件冷却装置，适用于运动部件具有给定运动方向的冷却装置，包括：第一管路，该第一管路的一端与运动部件上的冷却部分连通；第二管路，该第二管路导向于给定的滑轨或第二管路与第一管路均为硬质管，该第二管路与第一管路的另...
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