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本发明涉及一种钙钛矿太阳能电池生产过程的在线监控设备，包括X射线光电子能谱分析系统、电子学系统以及分析统计系统，X射线光电子能谱分析系统包括X射线源、电子透镜以及电子能量分析器，在电子能量分析器内设置电子探测器，X射线源发射的X射线照射到钙...
该专利属于杭州纤纳光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州纤纳光电科技有限公司授权不得商用。

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