下载一种低残压浪涌保护器件及制造方法的技术资料

文档序号:24212476

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本发明公开了一种低残压浪涌保护器件及制造方法,属于功率器件技术领域,包括:第一导电类型衬底层;第一导电类型外延层,第二导电类型掺杂区,第一导电类型掺杂区,保护层,生长于外延层的上表面,保护层上设有接触孔,接触孔用于将第一导电类型掺杂区和第二...
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