下载晶片的加工方法的技术资料

文档序号:24174246

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提供晶片的加工方法,当沿着分割预定线形成改质层时可靠地产生从改质层至正面的裂纹。该晶片的加工方法至少具有如下的工序:分割起点形成工序,将对于晶片(10)具有透过性的波长的激光光线(LB)的聚光点从晶片(10)的背面(10b)定位于规定的内部...
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