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本发明公开了一种多相绕组偏转扫描装置的控制方法，首先将第1相绕组的偏转扫描轨迹与直角坐标系中的x轴重合，将第1相绕组的轴线定义为直轴，带电粒子束斑点中心原始位置定义为直角坐标系原点；其次将偏转扫描轨迹依次分解成有限点直角坐标数据；再次将扫描...
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