下载一种用于纳米激光器的双凹型金属半导体谐振腔的技术资料

文档序号:24100959

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本发明公开了一种用于纳米激光器的双凹型金属半导体谐振腔,包括由内到位依次设置的半导体层、绝缘层和金属层;其中半导体层包括InGaAs核心层、p掺杂的InP材料层、n掺杂的InP材料层和p参杂的InGaAs顶上接触层;InGaAs核心层的下层...
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