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本实用新型公开了一种半导体制造机台，涉及半导体技术领域，包括：转换腔室；传送腔室，与所述转换腔室可隔离的连通；反应腔室，与所述传送腔室可隔离的连通；复数个真空泵，所述复数个真空泵的进气口分别通过管道与所述转换腔室和所述反应腔室可选择的连接；...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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