下载一种基于poket结构的TFET器件的技术资料

文档序号:24099281

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本发明公开了一种基于poket结构的TFET器件,包括衬底、晶化层、两个栅极、源极、漏极、两个栅介质层、硅基沟道和口袋,衬底、晶化层、两个栅极、源极、漏极、两个栅介质层、硅基沟道和口袋分别为长方体结构,晶化层固定设置在衬底上,晶化层的下端面...
该专利属于宁波大学所有,仅供学习研究参考,未经过宁波大学授权不得商用。

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