下载一种室温高频太赫兹波探测器及其制备方法的技术资料

文档序号:24084382

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本发明涉及一种室温高频太赫兹波探测器及其制备方法,属于太赫兹波探测研究技术领域。包括高载流子迁移二维材料、场效应晶体管和太赫兹天线,场效应晶体管具有源电极、栅电极和漏电极,源电极、栅电极和漏电极集成于带有介质层的衬底上,太赫兹天线与场效应晶...
该专利属于江苏盖姆纳米材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏盖姆纳米材料科技有限公司授权不得商用。

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