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本发明涉及低温泵技术领域，公开了内置式低温泵，其包括制冷机(1)和冷板组件(2)，制冷机(1)与冷板组件(2)连接并冷却冷板组件(2)，还包括泵口法兰(3)，制冷机(1)和冷板组件(2)均固装在泵口法兰(3)上，泵口法兰(3)与待真空腔室(...
该专利属于浙江博开机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江博开机电科技有限公司授权不得商用。

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