下载一种具有过滤大颗粒物功能的颗粒物传感器芯片的技术资料

文档序号:24054700

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本实用新型提供了一种具有过滤大颗粒物功能的颗粒物传感器芯片,包括:第一氧化铝基片;第二氧化铝基片,与所述第一氧化铝基片叠合;窄气道,位于所述第一氧化铝基片与所述第二氧化铝基片之间;工作电极对,设于所述窄气道内,包括两个相向设置的工作电极,任...
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