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针对射束图像系统的开关矩阵设计技术方案
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下载针对射束图像系统的开关矩阵设计的技术资料
文档序号:24020258
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公开了用于实施检测器阵列(600)的系统和方法。根据某些实施例,衬底(600)包括多个感测元件(600‑613),多个感测元件(600‑613)包括第一元件(611)和第二元件(612)。检测器包括开关元件(619),开关元件(619)被配...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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