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公开了用于在显微镜中分析样品的方法和系统。所述方法包括：使用第一检测器和与第一检测器不同的第二检测器来获取一系列复合图像帧，其中，获取复合图像帧包括：使带电粒子束撞击样品区域内的多个位置，所述区域与显微镜的配置视场对应，所述显微镜被配置为具...
该专利属于牛津仪器纳米技术工具有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过牛津仪器纳米技术工具有限公司授权不得商用。

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