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基底基板、功能元件及基底基板的制造方法技术
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文档序号:24018583
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提供一种用于在基底结晶层的结晶培养面上培养13族元素氮化物结晶层的基底基板,该基底基板具有:能够进一步减少13族元素氮化物结晶层中的缺陷、裂纹的结构。基底基板(6)具备:支撑基板(1),其由氧化铝构成;以及基底结晶层(2A),其设置在支撑基...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。
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