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一种用于微机电系统监测的光纤探针技术方案
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文档序号:24008898
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本发明提供的是一种用于微机电系统监测的光纤探针。其特征是:它由单模光纤1,大芯径渐变折射率光纤2,二元菲涅尔透镜3,待测物4,位移台5,光源6,三端口环形器7,光功率计8,计算机9组成。本发明可用于微机电系统的便携、非接触式无损监测,可广泛...
该专利属于桂林电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过桂林电子科技大学授权不得商用。
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