下载一种半导体芯片无尘研磨装置的技术资料

文档序号:24004143

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本实用新型公开了一种半导体芯片无尘研磨装置,包括安装台,所述安装台的上端面上固定安装有安装杆,所述安装杆上固定安装有固定杆,所述固定杆的底部设置有研磨部件,所述安装台的上端面上转动安装有工作台,所述安装台上对应工作台位置处设置有吸尘机构,本...
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