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本发明公开了一种晶圆片传输装置以及方法，包括：用于拿取和传送晶圆片的机械手；带动所述机械手在竖直方向移动的竖直移动机构；第一位移传感器，获取第一目标晶圆片在装载端口在竖直方向上的第一位置信息；第二位移传感器，获取临时装载区的第一目标存储位置...
该专利属于上海至纯洁净系统科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海至纯洁净系统科技股份有限公司授权不得商用。

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