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本申请提供一种真空干燥装置，包括真空腔室及承载部，真空腔室的室门设置在真空腔室的侧部，真空腔室的室门上开设有基板输送窗口，承载部位于真空腔室内部，承载部包括多个承载台，用于承载待干燥的基板。真空干燥装置在真空腔室的室门上设置了基板输送窗口，...
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