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本公开涉及半导体技术领域，提出了一种清洁机构、清洁车及物料自动搬运系统，清洁机构用于清洁顶置缓冲器上的反光板，清洁机构包括：承载组件和清洁件，承载组件相对于顶置缓冲器位置可调节地设置；清洁件可拆卸地设置在承载组件上。本公开的清洁机构通过承载...
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