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包括光电元件的集成电路器件制造技术
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下载包括光电元件的集成电路器件的技术资料
文档序号:23895591
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提供了一种集成电路(IC)器件,其包括光学IC衬底、位于所述光学IC衬底内部的局部沟槽和光电元件,所述光电元件包括掩埋在所述局部沟槽内部的光电转换层。所述光电转换层掩埋在所述光学IC衬底中的所述局部沟槽内部以形成所述光电元件。因此,所述IC...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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