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本实用新型为一种晶圆夹具的导电弹片，适用于载盘，而所述晶圆夹具的导电弹片，包含：结合部，设于所述载盘上；弹性部，供以电性连接导电片；由于所述弹性部能够弹性地靠近或远离所述结合部，使所述导电弹片具有弹性裕度，当晶圆夹具与各构件组合时，利用所述...
该专利属于邱晓明所有，仅供学习研究参考，未经过邱晓明授权不得商用。

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