下载一种调平安装架及承片装置的技术资料

文档序号:23781317

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本申请属于精密磨削设备领域,尤其涉及一种调平安装架及承片装置。该调平安装架包括相对布置的支撑架和机架,以及至少两组调节机构;支撑架上设置安装位;调节机构包括调节杆,调节杆的外表面设置第一螺纹段和第二螺纹段,且第一螺纹段和第二螺纹段为旋线方向...
该专利属于北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)所有,仅供学习研究参考,未经过北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)授权不得商用。

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