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清除工具、光刻装置以及器件制造方法制造方法及图纸
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文档序号:23774555
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描述了一种清除工具,该清除工具被配置成使用激光束从物体的目标区域至少部分地去除掩模层。清除工具包括阻挡构件,该阻挡构件被配置成布置在包含目标区域的物体的表面上方,并且被配置成将液体包含在紧邻目标区域或围绕目标区域的空间中。...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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