下载三维半导体存储器装置的技术资料

文档序号:23769705

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一种三维半导体存储器装置包括:衬底;电极结构,其包括竖直地层叠在衬底上的电极,各个电极具有焊盘部分;电极分离结构,其穿透电极结构并在第二方向上彼此隔开;以及接触插塞,其耦接到焊盘部分。接触插塞包括第一接触插塞以及在第二方向上与第一接触插塞隔...
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