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本发明提供一种化学机械抛光垫的抛光层及其应用，本发明提供的抛光层具备优异的弹性和耐水解性的同时，还具备更高的机械强度和耐磨性，使得抛光层的耐久性良好。所述抛光层通过异氰酸酯预聚物、固化剂和功能填料反应制得，所述异氰酸酯预聚物为采用包括二异氰...该专利属于万华化学集团股份有限公司;万华化学(宁波)有限公司;上海万华科聚化工科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过万华化学集团股份有限公司;万华化学(宁波)有限公司;上海万华科聚化工科技发展有限公司授权不得商用。