下载用于嵌入式存储器的防凹陷结构的技术资料

文档序号:23708005

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本申请的一些实施例涉及集成电路(IC)。该集成电路包括半导体衬底,半导体衬底具有由隔离结构分隔开的外围区域和存储器单元区域。隔离结构延伸到半导体衬底的顶面并且包括介电材料。逻辑器件布置在外围区域上。存储器器件布置在存储器单元区域上。存储器器...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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