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一种低衰减多晶硅及其制备方法技术
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文档序号:23698375
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本发明公开了一种低衰减多晶硅及其制备方法。该多晶硅包括:硼元素和镓元素,其中所述硼元素的浓度为0.93~1.05×10...
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