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本发明提供一种电容器结构及其制造方法，该方法包括：于底部衬底上形成蚀刻停止层、下部牺牲层、中部支撑层、顶部牺牲层、第一支撑层及应力缓解层，其中底部衬底具有接触孔；基于第一图形掩膜对应力缓解层进行刻蚀以形成应力缓解部；于第一支撑层及应力缓解部...
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