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本实用新型公开了一种真空反应室的电线密封结构，所述电性密封结构主体的一侧外表面固定安装有新型密封结构，所述电性密封结构主体的另一侧外表面固定安装有航空插头，所述航空插头的一侧外表面设置有固定卡槽，所述固定卡槽的一侧外表面固定安装有固定防滑螺...
该专利属于苏州子山半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州子山半导体科技有限公司授权不得商用。

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