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本发明涉及一种用于检查适于并被配置为保持衬底的容器本体的方法，该方法包括以下步骤：将来自光源(100)的光引导到被定位在容器本体(20)的内部空间(30)内的反射器元件(120)上，使得光被反射，以照亮容器本体(20)的至少一个内表面(21...该专利属于布鲁克斯自动化(德国)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过布鲁克斯自动化(德国)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种用于检查适于并被配置为保持衬底的容器本体的方法，该方法包括以下步骤：将来自光源(100)的光引导到被定位在容器本体(20)的内部空间(30)内的反射器元件(120)上，使得光被反射，以照亮容器本体(20)的至少一个内表面(21...