下载振动器件、振动器件的制造方法、电子设备以及移动体的技术资料

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提供振动器件、振动器件的制造方法、电子设备以及移动体,该振动器件包含:基座;振动体,其配置于基座;以及盖,该盖包含基板和硅基板,该基板具有透光性,该硅基板与基板以及基座的围绕振动体的部分接合。...
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