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本公开涉及一种气体传感器设备，其检测诸如硅氧烷之类的具有大分子的气体(例如，具有的分子量在150g/mol和450g/mol之间的气体)。气体传感器设备包括薄膜气体传感器和体膜气体传感器。薄膜气体传感器和体膜气体传感器各自包括半导体金属氧化...该专利属于意法半导体股份有限公司;意法半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过意法半导体股份有限公司;意法半导体有限公司授权不得商用。