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本申请提供了一种待清洗工件的装夹系统及装夹方法，其中，装夹系统包括装夹装置与驱动装置，装夹装置包括多个依次排列的装夹组件，装夹组件包括第一装夹部与第二装夹部，第一装夹部设有第一凹槽，第一凹槽用于装夹第一待清洗工件，第二装夹部设有第二凹槽，第...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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