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本实用新型公开了一种应用于半导体废气处理设备的废气反应腔体，包括入口管、外管、内管、出水管、进水管，所述外管和内管通过上法兰和下法兰焊接固定，所述外管设于内管外侧且两者之间形成一冷却腔，所述入口管有若干个，入口管安装于内管的侧面且呈周向分布...
该专利属于安徽京仪自动化装备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽京仪自动化装备技术有限公司授权不得商用。

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