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本申请提供一种薄膜晶体管的制造方法、薄膜晶体管及显示面板，该制造方法包括准备硅片；在硅片上设置低温隔离层；在硅片上依次设置低温栅极介质层和栅极层；在硅片中设置源漏极层；在低温栅极介质层和栅极层上设置低温钝化层；在低温钝化层、栅极层和源漏极层...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

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